專注半導體行業(yè)
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簡要描述：等離子清洗機1、采用射頻電源、自動匹配器，一鍵式操控。2、低溫等離子體，能量低、密度高，適合處理特殊材料。3、無環(huán)境污染、無化學品消耗。4、可處理形狀復雜的材料，材料表面處理的均勻性好。5、適用性廣，各種材料、形狀都可以處理。
所在城市：無錫市 廠商性質：生產廠家更新日期：2025-02-11訪 問 量：4606詳細介紹
| 品牌 | LEBO/雷博 | 產地類別 | 國產 |
|---|---|---|---|
| 應用領域 | 能源,電子,綜合 |
設備的優(yōu)點：
1、采用射頻電源、自動匹配器，一鍵式操控。
2、低溫等離子體，能量低、密度高，適合處理特殊材料。
3、無環(huán)境污染、無化學品消耗。
4、可處理形狀復雜和微細結構的材料。
設備的參數(shù)：
腔體材質 ：鋁合金
供電電源 ： AC220V、1000W
濺射電壓：MAX 2500V
濺射電流：MAX 30mA
靶材尺寸：直徑57mm，厚度0.1~0.5mm
射頻電源功率： 0-300W可調
射頻頻率： 13.56MHz
真空度：≤100Pa
氣體路數(shù)：2路
氣體流量：MFC氣體質量流量計 500SCCM（可調）
控制： 觸屏
清洗時間：1-6000s連續(xù)可調
處理尺寸：≤8寸
內腔尺寸：226mm（長）*126mm（高）*224mm（深）
外形尺寸： 620mm*560mm*410mm（寬*深*高）
重量：≈38KG
真空泵：飛越ARV-4
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